膜厚測量

      薄膜測量系統(tǒng)是專門針對半導(dǎo)體、材料、生物醫(yī)學(xué)薄膜的實驗室分析及在線監(jiān)測開發(fā)的，用于測量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于白光反射及干涉的原理來確定光學(xué)薄膜的厚度。可以通過對白光干涉圖樣進行數(shù)學(xué)運算來計算出薄膜厚度。對于單層膜來說，如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。

      AvaSoft-Thinfilm軟件內(nèi)有一個包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數(shù)據(jù)庫。TFProbe多層膜測量軟件可以測量多達(dá)5層膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值），實現(xiàn)實時或在線膜厚和折射率監(jiān)控。

參數(shù)指標(biāo)：

• 光譜范圍 200~1100nm 測量速度 2 ms minimum

• 膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick

• 分辨率 1nm 測量精度 better than 0.25

  
  

典型應(yīng)用領(lǐng)域：

• Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導(dǎo)體制造

• Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器

• Forensics, Biological films and materials 醫(yī)學(xué)、生物薄膜或材料

• Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉

• Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥

• Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學(xué)薄膜

• Semiconductor compounds 半導(dǎo)體化合物

• Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料

• Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

      

AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)可以搭配多種應(yīng)用系統(tǒng)附件，例如光纖多路復(fù)用器、顯微鏡、過真空裝置等附件，實現(xiàn)多點位同時測量、微區(qū)測量、過程監(jiān)控等復(fù)雜領(lǐng)域的應(yīng)用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)能夠?qū)崟r監(jiān)控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應(yīng)用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過程監(jiān)控軟件一起使用。